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深圳市桌面级溅射镀膜系统招标公告

发布时间：2018/3/19 地区：广东 - 深圳市

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所属地区	广东
招标编号	****** [登陆后查看]	截止日期	****** [登陆后查看]
招标代理	******* [登陆后查看]
招标业主	暨*** [登陆后查看]

公告摘要

(略) -竞价公告(CB *** )

基本信息：
申购单主题：	桌面级溅射镀膜系统
申购单类型：	竞价类
设备类别：	其他
使用币种：	人民币
竞价开始时间：	*** 17:34
竞价结束时间：	*** 00:00
申购备注：

申购设备详情：

设备名称	数量	单位	品牌	型号	是否标配	售后服务	规格配置	附件
桌面级溅射镀膜系统	1	套	深 (略)	DSC 300Plus	否	按行业标准提供服务	1、真空腔体：圆柱形（约Φ300x250mm）、预留三个共焦靶位和一个样品旋转工位、观察窗2、真空泵组：进口品牌分子泵和旋片泵（抽速：240L/s）3、真空测量：进口品牌皮拉尼规和全量程规4、磁控溅射靶枪：3套，适用于Φ60mm靶材5、溅射电源： 500W 直流磁控电源6、气体质量流量计：2套量程0- 50 sccm7、可旋转样品台：1套转速0-10rpm8、PLC 触摸屏控制系统：可用于集中对真空泵组、气体流量、样品台和磁控电源的控制9、设备整体尺寸约为：1000 mm×1500 mm×1500mm（长宽高）10、预留循环水接口	无

联系方式： *** 6

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