00mm） （e）压力控制系统：伺服马达控制、数字读出应变压力传感器 （f）工作台尺寸：φ55 mm （g）烧结电极棒：带有特别密封水系统 （h）Z 轴位置显示 ：数字读数-最小0.01 mm （i）安全装置：紧急停止系统和警告系统 2、电源系统 （a）烧结DC脉冲发生器：ON/OFF 脉冲控制系统
工作台、气路系统、压力控制系统、真空机组、系统控制柜。包含石英舟、石英管、加热系统、机械手、气体管路、真空泵等必备零部件。2.设备性能需求：设备石英管内需要采取多管进气的方式，其中氮气管为1路，硅烷管不少于4路，硅烷管可以根据设备状态切换气体类型；工艺能力：每批（单次）≥150片/炉；炉体最高温度1
工作台、气路系统、压力控制系统、真空机组、系统控制柜。包含石英舟、石英管、加热系统、机械手、气体管路、真空泵等必备零部件。2.设备性能需求：设备石英管内需要采取多管进气的方式，其中氮气管为1路，硅烷管不少于4路，硅烷管可以根据设备状态切换气体类型；工艺能力：每批（单次）≥150片/炉；炉体最高温度1
中山大学2022年11至6月政府采购意向-材料科学与工程学院公仪平台重量法高压气体吸附仪采购项目-A033499其他专用仪器仪表-预算金额230.000000万元(人民币)
2022-10-14丨招标公告丨广东
模式2.高压气路和压力控制系统（1）气路系统通过计算机软件设置并实现全自动控制，无需人工干预。气路系统要求能够同时接入两种不同的气体；（2）气路系统能够提供的实验气氛压力35MPa；（3）带有两只高精度压力传感器：测量范围分别为40MPa和4MPa；（4）高精度压力传感器精度为全量程0.5%；（5）
定系统；3）高精度压力控制系统（2.1Mpa绝压）；4）高精度压力控制系统（200kPa绝压）；5）高精度压力控制模块（-20 kPa～+20kPa ）；6）高精度压力控制模块（0MPa～13.5MPa）；7）高精度压力控制模块（-0.1MPa～+7MPa ）；8）高精度压力控制模块（-100kPa
定系统；3）高精度压力控制系统（2.1Mpa绝压）；4）高精度压力控制系统（200kPa绝压）；5）高精度压力控制模块（-20 kPa～+20kPa ）；6）高精度压力控制模块（0MPa～13.5MPa）；7）高精度压力控制模块（-0.1MPa～+7MPa ）；8）高精度压力控制模块（-100kPa
统、温度控制系统、压力控制系统、测量控制系统的综合分析基础上，使各部分之间相互独立运行互不干扰，又能有机结合；2.5数据采集与处理系统主要技术指标要求采集处理试验中的压力、温度、变形、时间等试验参数。试验数据导出（Excel、txt格式）。可对数据进行自动处理，包括数据生成、曲线放大、曲线遍历等。部
控温系统一套，自动压力控制系统一套，压缩机制冷循环水冷却系统一套，自动工作台升降系统一套，无线网络连接系统一套。联系人:邓工联系电话:26649854预计采购时间:2022-08备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准function R
统、温度控制系统、压力控制系统、测量控制系统的综合分析基础上，使各部分之间相互独立运行互不干扰，又能有机结合；2.5数据采集与处理系统主要技术指标要求采集处理试验中的压力、温度、变形、时间等试验参数。试验数据导出（Excel、txt格式）。可对数据进行自动处理，包括数据生成、曲线放大、曲线遍历等。部
统、温度控制系统、压力控制系统、操作界面、计算机系统、监视器和电源模块等； 2.系统满足工艺尺寸：系统从对准到各键合工艺满足8英寸及以下对准和键合工艺； 3.对准机：满足系统所有键合工艺的8吋及以下对准键合工艺，顶部对准精度≤0.5um，底部对准精度≤1um； 4.胶键合：最大晶圆：8英寸；最大压力
间高度200mm)压力控制系统：伺服马达控制 伺服马达控 数字读出应变压力 烧结电极棒：有特别密封水系统 带有特别密封水系统联系人:蒋老师联系电话:15814780830预计采购时间:2022-03备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
或目标:双孔平衡式压力控制系统：可做样品消解等试验，灭菌：105℃-135℃(0.019-0.212MPa) 加热：45-104℃； 保温：45－ 95℃；最大操作压力≥0.25MPa。购置2台。；需满足的要求:； 按国家有关规定，政府采购流程执行采购168,000.002021年07月3脚踏式全自
钟；9、双孔平衡式压力控制系统：可做样品消解等试验，保证样品压力均匀；10、压力显示：压力表，独立于电子系统的压力表，客观显示实际腔体内部压力；11、温度显示方法：数字式；12、时间显示范围：（1）灭菌、加热1-99小时，1-999分钟（可设置0：01-9：59/10-99）（2）保温：可设置1-9
钟；9、双孔平衡式压力控制系统：可做样品消解等试验，保证样品压力均匀；10、压力显示：压力表，独立于电子系统的压力表，客观显示实际腔体内部压力；11、温度显示方法：数字式；12、时间显示范围：（1）灭菌、加热1-99小时，1-999分钟（可设置0：01-9：59/10-99）（2）保温：可设置1-9
或目标:双孔平衡式压力控制系统：可做样品消解等试验，灭菌：105℃-135℃(0.019-0.212MPa) 加热：45-104℃； 保温：45－ 95℃；最大操作压力≥0.25MPa。购置2台。腔体容量≥100L，最大操作压力≥0.193Mpa，有双孔平衡式压力控制系统，加热功率≥3.0 kW。购
京公网安备 11010802022993号
